产品详情
  • 产品名称:COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪

  • 产品型号:IMS5600-DS
  • 产品厂商:COMITRONIC–BTI法国进口
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简单介绍:
新型白光干涉仪IMS5600-DS用于至高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估功能的特殊校准,并可实现亚纳米级分辨率的绝 对测量。干涉仪用于具有至高精度要求的测量任务,例如电子和半导体生产。
详情介绍:

COMITRONIC–BTI法国进口IMS5600-DS白光干涉仪




产品特点:

  1. 亚纳米级精度的距离测量
  2. 同类至佳:分辨率 30 皮米
  3. 绝 对测量,适用于阶梯轮廓
  4. 紧凑而坚固的传感器,偏移距离大
  5. 测量速率高达 6 kHz,用于高速测量
  6. 通过 Web 界面轻松配置
  7. 适用于真空的传感器和电缆
  8. 紧凑型传感器,也具有 90°光束路径






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