产品名称：3D 表面测量显微镜

• 多传感器融合：共焦、白光干涉测量法和焦点变化三种技术集成于一台设备，实现灵活的测量配置

• 共焦技术：采用获**的多针孔技术，实现超快速图像捕获，适用于从光滑表面到极粗糙表面的广泛应用场景

• 干涉测量法：提供亚纳米级范围的垂直分辨率，适用于非常光滑和连续的表面以及台阶高度的超精密测量

• 焦点变化技术：专为测量大型粗糙表面几何形状开发，支持倾斜度达 86° 的表面，单次测量可覆盖宽广的垂直范围

• 数据质量：具备良好的精度、准确性、可重复性和可再现性，支持可追溯性和可审核性

技术规格

典型测量任务

技术优势

适用客户

• 精密制造企业

• 质量检验与检测机构

• 材料研究与实验室

• 航空航天、汽车制造等高标准零部件生产企业

• 表面度量领域研究单位

使用与维护提示

• 使用前请仔细阅读说明书，完成设备安装与校准

• 根据测量任务选择合适的测量技术（共焦、干涉或焦点变化）

• 注意工件尺寸需适配 SX 平台（轴径尺寸达 200 mm）

• 使用后清洁光学系统及工作台面

• 妥善保管校准证书及说明书，作为产品追溯的凭证依据

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