产品名称：质量式气体流量计

MF4000 系列质量式气体流量计是一款采用 MEMS（Micro-Electromechanical System，微机电系统）热式测量原理的微小流量气体流量仪表。MEMS 是将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术，该系列产品采用 MEMS 芯片及**封装技术，相较于传统的热式质量流量计，具有体积更轻巧、压力损失小、低功耗、响应速度快、测量结果更**可靠等优势。产品专为 3 mm 至 8 mm 气体管路中的低速气流测量而设计，适用于各类清洁、干燥气体的流量监测与过程控制。

测量原理

MF4000 系列采用热式质量流量测量原理，基于 MEMS 技术的热式传感器直接测量气体的质量流量，无需额外的温度压力补偿即可获得准确的质量流量值。热式测量原理具有低压损、高灵敏度、高精度等优点，尤其适用于小流量气体的**测量。

型号规格与测量范围

MF4000 系列提供两种口径规格：

• MF4003：口径 3 mm，*大流量可选 2、3、4、5 SLPM

• MF4008：口径 8 mm，*大流量可选 10、20、30、40、50 SLPM

性能指标

• 量程比：100:1

• 精度：±（1.5+0.2FS）%

• 重复性：0.25%

• 零点飘移：±30 mV

• 输出飘移：±0.12% / ℃

• 响应时间：10 ms（可调）

适用介质

MF4000 系列适用于多种清洁、干燥气体，包括：

• 空气

• 二氧化碳

• 氮气

• 氧气

• 笑气（一氧化二氮）

• 氩气

• 氦气、氢气

• 压缩气体

• 甲烷、液化石油气、天然气等

输出信号与通信接口

• RS232 通信接口

• RS485 通信接口

• 0.5～4.5 VDC 模拟输出

显示功能

配备 LED 显示屏幕，可显示：

• 瞬时流量

• 累积流量

电源与工作条件

• 电源电压：8～24 VDC

• 电流消耗：50 mA

• *大工作压力：0.5 MPa

• 工作温度：-10～55 ℃

• 储存温度：-20～65 ℃

• 工作湿度：<95% RH（无结冰、无结露）

机械接口

• BSPT 1/4（R1/4）

• 可选 4 mm、6 mm、8 mm 快速接头

设计特点

• 卡口式设计：可适用于多气路测量，安装灵活

• 快速接头可选：容易安装，减少安装工时

• 高精度、高灵敏度：适用于小流量气体的**测量

• 低功耗、低压损：降低系统能耗，减少对管路的影响

• 无需温度压力补偿：直接测量质量流量，简化系统配置

• MEMS 技术：体积轻巧，响应速度快，测量**可靠

应用领域

MF4000 系列质量式气体流量计适用于以下典型场景：

工业制造：

• 工业制造业的用气测量及程控

• 压缩空气流量监测

• 气体消耗量管理

医疗设备：

• 医疗麻醉与呼吸设备

• 医院供氧/制氧设备

• 分床计费系统

环保与科研：

• 环保领域气体采样与分析

• 科学气体分析仪器

• 大气采样设备

其他应用：

• 食品加工气体流量测量

• 楼宇自控气体监测

• 保健设备气体流量控制

• 粒子计数器

• 洁净气体检测（如空气采样机、气体分析仪等）