产品名称：MKS G系列数字质量流量控制器

GE50A是MKS G系列弹性体密封数字质量流量控制器，属于G系列快速且可重复的质量流量控制器。该产品为多气体、多段、弹性体密封，流量范围5-50,000 sccm。数字控制电子设备采用*新MKS控制算法，实现在整个设备控制范围内对设定点的快速且可重复响应，典型响应时间约500毫秒。数字校准仅能获得校准气体设定点精度的1%。输入输出选择广泛，支持RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet等数字接口，以及0-5 VDC或4-20 mA模拟接口。所有GE50A均包含Modbus作为可用辅助I/O（PROFINET和EtherCAT除外）。密封和阀门塞可选Viton、Buna、氯丁橡胶或Kalrez。标准闭合导电泄漏率低于全刻量的0.1%，下降时间不到750毫秒。技术规格方面，类型为质量流量控制器，全尺度流量范围5-50,000 sccm，控制范围全比例度的2%到100%，封条材料为Viton、Buna-N、氯丁橡胶或Kalrez，模拟连接器为9针或15针D-亚米尼特，*大入口压力150 psig，正常操作压力差为10至5000 sccm时10至40 psid，10000至20000 sccm时15至40 psid，30000至50000 sccm时25至40 psid。Proof Pressure为1000 psig，Burst Pressure为1500 psig。典型精度为20至100%全量程时±1%设定点，2至20%全量程时±0.2%全量程。重复性±0.3%读数，分辨率0.1%全量程。零点温度系数<0.05%全量程/°C，跨度温度系数<0.08%读数/°C，进气口压力系数<0.02%读数/psi。典型沉降时间<750毫秒，超过5%全量程。热身时间30分钟。工作温度10°C到50°C，储存温度-20°到80°C，储存湿度0至95%相对湿度非冷凝。外部泄漏完整性<1 x 10^-9 scc/sec He。关闭阀泄漏完整性：10K阀在40 psig至大气下<0.1% FS，20K-50K阀<1.0% FS。湿润材料为316L S.S. VAR、316 S.S.、Elgiloy®、Nickel，表面光洁度平均Ra 16µ inch，重量3 lbs（1.4 kg），合规CE。产品特点包括宽选择数字和模拟接口，标准3英寸 footprint，全金属湿润表面，仅有外部弹性体密封和弹性体阀塞，其余湿润表面均为金属。百分比设定点精度，嵌入式用户界面可轻松更改设备量程和用户气体，减少库存需求，并可监测MFC功能及收集性能数据。采用**热传感器设计，提供**的零稳定性，美国**号5461913。通信选项方面，数字I/O包括DeviceNet、RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET，各有输入电源要求、连接器、数据速率、通信速率、MAC ID开关/地址、网络大小和视觉指示器。附件包括多种质量流量控制器电缆，如CB147-12-10、CB147-1-10、100016744等。相关产品包括PR4000B数字电源和读出器、946真空系统控制器、测试诊断电路板、GM50A/GM51A金属密封质量流量计、PSR4A四通道电源读出和设定点控制器、PSR1A单通道电源读出和设定点控制器。应用领域包括半导体、薄膜、光伏、等离子喷涂、渗碳工艺等需要精密气体流量控制的场合。

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