Name: 金属密封数字质量流量控制器
Brand: MKS Instruments
SKU: GM50A013503RMM020

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产品名称：金属密封数字质量流量控制器
产品型号：GM50A013503RMM020
产品厂商：MKS Instruments
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简单介绍：

GM50A/GM51A 是 MKS G 系列金属密封数字质量流量控制器，流量范围 5-50000 sccm，GM50A 宽度 1.45 英寸，GM51A 宽度 1.25 英寸，支持多气体、多量程设置，金属密封结构适配高纯工艺，具备**热传感器，可用于半导体等高精密气体流量控制场景。

详情介绍：

GM50A/GM51A 是 MKS G 系列金属密封数字质量流量控制器，为多气体、多量程金属密封型产品，全尺度流量范围 5-50000 sccm（氮气等效），GM50A 机身宽度 1.45 英寸，GM51A 机身宽度 1.25 英寸。设备搭载数字控制电子单元，采用 MKS 自研控制算法，在全控制区间内对设定点实现快速、可重复响应，典型响应时间约 500 毫秒，沉降时间小于 750 毫秒。产品支持丰富 I/O 选型，包含 RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet 数字接口以及模拟信号接口；除 PROFINET 和 EtherCAT 型号外，全部设备自带 Modbus 辅助 I/O，可直接替换 1179A 多功能控制器同类 I/O 配置。

该产品为金属密封设计，阀塞采用特氟龙材质，湿润材质包含 316L S.S. VAR、316 不锈钢、Elgiloy®、镍、KM45，表面采用 10 微英寸电光抛光处理，适配高纯度气体工艺；外部泄漏指标＜1×10⁻¹⁰ scc/sec He，阀门闭合泄漏在 40 psig 进气通大气工况下低于全量程 1.0%。设备控制范围为全量程 2%~100%；精度指标：20% 至 100% 全量程区间为设定点 ±1%，2%~20% 全量程区间为全量程 ±0.2%；重复性 ±0.3% 读数，分辨率 0.1% 全量程。零点温度系数＜0.05% 全量程 /℃，跨度温度系数＜0.08% 读数 /℃，进气压力系数＜0.02% 读数 /psi。

压力参数：*大入口压力 150 psig，证明压力 1000 psig，爆破压力 1500 psig；压差依据流量档位区分，5~5000 sccm 为 10~40 psid，10000~20000 sccm 为 15~40 psid，30000~50000 sccm 为 25~40 psid。工作温度 10℃~50℃，储存温度 - 20℃~80℃，储存相对湿度 0~95%（非冷凝），整机重量 1.4kg，满足 CE 合规。产品采用标准 3 英寸封装，现有气体管路无需改造即可安装。搭载嵌入式人机界面，可现场修改设备量程与气体参数，降低备件库存；配备**热传感器（美国**号 5461913），零稳定性表现优异。

通讯模块具备独立电源、连接器、通讯速率、地址设置与状态指示灯；配套多款专用 MFC 通讯线缆可选。配套外设包含 PR4000B 数字电源读出器、946 真空系统控制器、诊断测试板、PSR1A 单通道电源读出设定控制器、PSR4A 四通道电源读出设定控制器。产品适用于半导体等高纯度工艺领域的精密气体质量流量测量与控制。

以上内容基于 GM50A/GM51A 公开技术资料整理，如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议，欢迎联系卡洛斯莫（联系电话：18566647778，对接人：杨工）。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销 Contrinex 康睿得、Staubli 史陶比尔、CEMBRE 森博尔、MW 美国、Imaginant 美国、Siemens 西门子、MinebeaMitsumi 美蓓亚三美、SCHUNK 德国雄克、SICK 德国西克、Toho 东邦电子、SUTTER 美国、Accuride 雅固拉、HELUKABEL 和柔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的其他产品，也可直接联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购服务，助您高效完成设备配套与项目交付。

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