产品名称：原装通用型密封质量流量控制器

1179C是MKS通用型弹性体密封质量流量控制器，设计用于测量和控制各种应用中的气体流量。该产品提供从10 sccm到20 slm的全刻度范围，可进行快速且可重复的流量控制，*低可达0.2 sccm，连接合适的压力传感器时也可用作压力控制器。控制范围为满量程的2%到100%，全尺度流量范围覆盖10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm（N2等价）。接头类型包括Swagelok 4 VCR、Swagelok 4 VCO、1/4英寸Swagelok。模拟输入输出连接器为9针或15针D型。封条材料包括Buna-N、氯丁橡胶、Kalrez，配置中可选Viton。*大入口压力150 psig，正常操作压力差为10至40 psid（10至5000 sccm）和15至40 psid（10000至30000 sccm，含MFC出口处的大气压）。典型精度±1.0%满尺寸，重复性±0.2%，分辨率满量程的0.1%。零温度系数满刻度<0.05%，跨度温度系数<0.08%读数/°C，压力系数<0.02%读数/psi。热身时间2分钟，典型沉降时间<2秒，工作温度0°至50°C。功率需求为±15 VDC（启动时200毫安，稳态100毫安），设定点指令信号为0到5 VDC，电压从<20K Ω。湿润材料为316L S.S.、Viton、镍。外部泄漏完整性<1 x 10^-9，闭合阀门泄漏完整性在40 psig进气口大气时<满量程的1.0%。合规CE。该产品是市场上*常见的MFC的直接型合适功能替代品，标准3英寸占地面积使1179C能够直接插入同一空间，无需修改现有燃气管线。电气连接器与工业版D型连接器相同，针脚、信号和功能相同，无需重新布线或连接器。1179C兼容MKS或其他厂商的MFC电源和显示电子设备。性能和可靠性通过严格的MTBF分析和广泛的STRIFE测试得到保障，符合IEC-801关于静电放电和射频干扰环境容忍的规范，并符合欧洲CE标志要求，提供两年保修。应用领域包括通用气体流量测量和控制，适用于半导体、薄膜、等离子喷涂、渗碳工艺等需要精密气体流量控制的场合。

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