产品名称：现货VAT高压真空蝶阀控制阀

61.3 HV蝶式控制阀是VAT高压蝶阀控制阀，用于真空系统中快速且精准的下游压力控制。该阀以板作为节流元件，通过改变阀门开启导电率调节压力，集成压力控制器计算所需板材位置以尽快达到设定压力，适用于CVD和ALD等精细控制工艺。产品特别设计用于气流中颗粒较多的严苛下游过程，即使存在高颗粒载荷和碎片堆积仍可保持全功能运行。该系列已在数千个高要求应用中安装，具有坚固设计和直接安装选项，维护简便。设计选项包括阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及自适应、固定PI下游或软泵等特殊控制算法，可集成客户专用法兰和带保温层的集成加热器。技术数据方面，尺寸覆盖DN25（1英寸）、DN40（1½英寸）、DN50（2英寸）、DN63（2½英寸）、DN80（3英寸）、DN100（4英寸）、DN160（6英寸）、DN200（8英寸）、DN250（10英寸）、DN320（12英寸）。执行器为带步进电机的集成控制器，阀体材质为铝或不锈钢，标准法兰为ISO-KF和ISO-F。泄漏率阀体铝和不锈钢均小于1×10⁻⁹ mbar·L/s。压力范围为1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs）。压力控制循环至**服务为200万次。温度方面，阀体不超过150°C，控制器*高50°C，建议不超过35°C。材料方面，铝阀体牌号为EN AW-6082（3.2315），不锈钢阀体为AISI 316L（1.4404或1.4435），轴为AISI 316L（1.4404或1.4435）。密封中流标准为FKM，其他材料可按需提供。驱动方式为旋转轴直接驱动，安装位置任意，建议泵侧轴。*大压差在盘上从DN25的1000 mbar到DN320的75 mbar。分子流导电率从DN25的22 L/s到DN320的27000 L/s，*小可控电导率从0.15 L/s到6 L/s。典型关闭或打开时间仅位置版本为0.09秒至0.29秒。重量铝阀从2.0 kg到10.4 kg，不锈钢阀从2.5 kg到12.3 kg。控制器接口和传感器可选逻辑（A/D）、Profibus、RS232、RS485、CC-Link、DeviceNet、EtherCAT等，并支持2个传感器。应用领域包括薄膜涂层、太阳能薄膜沉积、晶体生长、照明薄膜沉积、薄膜封装CVD、工艺控制与隔离、电池生产、OLED喷墨打印和照明蚀刻等真空工艺。

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