产品名称：原装GF080 金属密封质量流量控制器

GF080金属密封质量流量控制器与流量计是Brooks布鲁克斯推出的金属密封MFC和MFM，属于GF80系列。该产品采用与*畅销的GF100系列相同的快速响应传感器和**第四代MultiFlo™技术，是需要高性能且价格合理运营的合适选择。转向金属密封MFC可充分发挥MultiFlo™多气体/多量程能力的优势，因为可用气体没有限制，气体纯度因消除弹性体氧气渗透而提升，且金属密封条寿命延长，维护更为便捷。主要特点包括长期零点稳定性每年变动小于满量程的±0.5%，稳定时间<1秒，全量程流量*高可达55 slpm，全金属密封流路表面粗糙度16µ英寸Ra，耐腐蚀的Hastelloy®传感器可在较低温度下工作，适用于易热分解的气体，可编程MultiFlo™能力使一台设备可覆盖数千种气体类型和量程组合，无需从气路拆除MFC也不影响精度，通过主动温度补偿实现同类*佳温度系数规范，内嵌式自检程序和独立诊断/服务端口，带有VCR配件的细线体设计，支持DeviceNet、Profibus、RS-485及模拟接口。技术参数方面，介质类型为气体，流量测量原理为热式（TMF），流量范围3 sccm至55 slpm，精度范围为±1% S.P.（35-100%）和±0.35% F.S.（<5-35%），调节比<5%-100%，重复性<±0.2% S.P.，*大压力150 psi，工作温度5°C至50°C，测量/控制功能包括控制器（Measure & Control）和流量计（Measure Only），密封选项为金属密封。应用领域包括翻新半导体工艺工具中对**MFC的成本效益高的改造/升级、减少六英寸/八英寸半导体晶圆厂的MFC库存、LED和电力器件制造的MOCVD、太阳能/薄膜化学气相沉积（CVD）系统、分析OEM设备。优势包括快速<1秒的流动沉降时间消除气体浪费和工艺变异性，无弹性体密封件氧渗透问题，MultiFlo™简化过程气体切换无需拆除和校准MFC，新气体和/或量程可在60秒内设定，测量精度不受温度变化影响，诊断端口便于访问以实现*大运行时间，紧凑尺寸便于集成到紧凑机床空间，多协议通信接口简化与现有系统集成。

以上内容基于Brooks GF080金属密封质量流量控制器与流量计公开技术资料整理，如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议，欢迎联系卡洛斯莫（联系电话：18566647778，对接人：杨工）。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销Contrinex康睿得、Staubli史陶比尔、CEMBRE森博尔、MW美国、Imaginant美国、Siemens西门子、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、SCHUNK德国雄克、SICK德国西克、Toho东邦电子、SUTTER美国、Accuride雅固拉、HELUKABEL和柔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的其他产品，也可直接联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购服务，助您高效完成设备配套与项目交付。