产品名称：原装全金属闸阀 薄膜沉积

48.1 XHV全金属门阀是VAT推出的超高真空全金属闸阀，属于XHV全金属阀门系列。该产品用于XHV（极高真空）至2.0 bar（abs）范围的压力隔离，采用全金属密封结构，不含弹性体，适用于对洁净度和真空度要求极高的半导体、显示技术及表面科学等工艺。

以48.1-48124-CE01型号为例，该配置为DN16（5/8英寸）规格，法兰为CF-F（公制螺纹），阀体材质为不锈钢，执行器为手动，不带位置指示信号和电磁阀。技术参数方面，压力范围为XHV至2.0 bar（abs），导电率为10 L/s，板上差压≤2 bar，开启时压力差≤1 bar。温度方面，执行器*高温度≤140°C，阀体*高温度≤300°C。重量为3 kg（6.61磅）。

该系列提供多种规格，尺寸覆盖DN16（5/8英寸）、DN40、DN200、DN250、DN320等。产品附加组件和选项包括：阀门、客户专用法兰、附加移植、客户指定的射频孔径、反磁版本、位置指示器（提供“打开”和“关闭”双位置指示）、温度范围的增加、耐辐射执行器（可耐受10⁶ Gy辐射，烘烤温度*高140°C、*长100小时）以及可烘烤手动执行器。附件包括法兰连接件，备件可根据需求指定。该产品适用于半导体制造中的溅射、EUV光刻、表面科学分析以及其他需要超高真空隔离和高温烘烤的工艺场合。

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