瑞士VAT 65.3高压摆控制阀现已到货

VAT 65.3高压摆控制阀适用于半导体和显示生产系统中的下游压力控制和真空隔离。典型应用包括显示干法蚀刻、工艺控制与隔离、OLED喷墨打印、溅射等。其集成32位压力调节器和位置控制电机实现快速、**的保压控制；无冲击运行避免颗粒激活，提高工艺稳定性；阀板优化阻尼闭合运动避免冲击和振动，关闭平稳；非常**的机械引导确保无接触式气流控制和均匀密封；控制器支持特殊控制算法（自适应、固定PID、上游、软提取），多个标准端口可通过PC访问或连接PCU；专用控制性能分析仪（CPA）软件可轻松校准阀门，简化维护计划；“即插即用”改造无需对接或对准，适合现有系统升级；已在数百个高强度应用中验证可靠性和性能，适合半导体、显示、OLED、溅射等对压力控制精度和工艺稳定性要求极高的行业。

详细介绍

VAT 65.3压力摆动控制阀为下游压力控制和隔离树立了新标准。该系列压力摆动控制阀专为半导体和显示生产系统设计，能够在广泛的电导范围内提供***别的可控性。65.3压力摆动控制阀配备了集成位置控制的电机，能够提供更优的功能。驱动控制器具备更高的32位数据处理能力，可以提供新的可控性。这意味着摆阀板的每个位置都可以被非常快速、**和准确地控制，从而在极短的响应时间内实现非常**的下游压力控制。阀门预设的运动顺序可根据各种不断变化的工艺参数调整速度和路径。65.3压力摆动阀还能防止颗粒的释放。阀板的优化阻尼闭合运动可以避免传统阀门常见的冲击和振动。65.3压力摆动控制阀的关闭平稳，关闭和打开几乎察觉不到。阀门板提供非常**的机械引导，确保往复运动时实现无接触式气流控制，并在密封运动的所有区域实现均匀密封。65.3压力摆动控制阀已在数百个高强度应用中安装，且在各种工艺条件下，证明了其**的可靠性和性能。65.3压力控制摆动阀也是改造现有系统的理想选择。

压力摆动阀尺寸为DN 100–350毫米（4英寸至14英寸），由铝或硬质阳极氧化铝制成，采用ISO-F和JIS标准法兰连接。定制法兰可以集成安装，也可以作为直接安装选项。标准密封材料为氟橡胶，其他材料可视情况使用。控制器可采用特殊控制算法（自适应、固定PID、上游、软提取）。控制器上的多个标准端口可以通过个人电脑轻松访问，或连接到过程控制单元（PCU）。专用的控制性能分析仪（CPA）软件可以轻松校准65.3压力摆动阀，简化维护计划。主要特点包括快速**的保压控制、无冲击运行（无颗粒激活）、提高工艺稳定性（所有流量和压力均受控）、集成32位压力调节器（IC2）带控制性能分析仪（CPA）、“即插即用”改造（无需对接或对准）。优势包括**的可靠性、精度和速度，延长维护周期，低运行成本。

技术数据方面，尺寸覆盖DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 350（14英寸）。执行器为步进电机带集成压力控制器。阀体材料为铝坯或硬质阳极氧化铝。馈通为旋转馈通，执行器为轴馈通，密封环。标准法兰为ISO-F、JIS。阀体泄漏率方面，铝坯＜1×10⁻⁹ mbar·l/s，硬质阳极氧化铝＜1×10⁻⁵ mbar·l/s。阀座泄漏率方面，铝坯＜1×10⁻⁹ mbar·l/s，硬质阳极氧化铝＜1×10⁻⁴ mbar·l/s。压力范围方面，铝坯1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs），硬质阳极氧化铝1×10⁻⁶ mbar至1.2 bar（abs）。**维护前循环次数（压力控制/关闭/开启）为100万次/20万次。温度方面，阀体≤120°C，控制器*高50°C（推荐≤35°C）。材料方面，阀体和阀板为EN AW-6061（3.3211），密封环为EN AW-6061（3.3211）、AISI 305（1.4303）、AISI 420C（1.3541）、AISI 631（1.4568），其他部件为AISI 316L（1.4404、1.4435）、AISI 440（1.4122）、AISI 301（1.4310）、AISI 316Ti（1.4571）、AISI 304（1.4301）。密封（阀盖、阀板、阀体馈通）为FKM。安装位置任意。VAT是全球高真空解决方案开发的***，其产品对半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。65.3系列广泛应用于显示干法蚀刻、工艺控制与隔离、OLED喷墨打印、溅射等应用领域。

型号汇总

VAT 65.3高压摆控制阀系列，尺寸覆盖DN 100（4英寸）至DN 350（14英寸）。材质可选铝坯或硬质阳极氧化铝，法兰可选ISO-F、JIS，控制器接口支持PC或PCU连接，可选特殊控制算法（自适应、固定PID、上游、软提取）。

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司成立于2016年，位于深圳市龙华区。公司经营机电设备、工业自动化设备、仪器仪表、通信设备等产品的销售与进出口业务，产品广泛应用于汽车制造、轨道交通、半导体、航空航天、能源、医疗、通信等行业。公司现为VAT等国际品牌产品的供应渠道之一，可为用户提供65.3高压摆控制阀及相关产品的选型与采购支持。

如需了解更多产品信息或咨询采购事宜，欢迎联系卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司