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VAT 54.1 UHV/XHV全金属角阀:FLEX VATRING可更换密封与免扭矩扳手设计如何满足极端超高真空便捷隔离

日期:2026-11-11 00:54
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摘要:在电子显微镜、质谱与气体分析、高能物理、同步辐射等UHV/XHV应用中,全金属角阀需要在300°C烘烤、XHV至2 bar压力范围内实现可靠隔离,同时便于现场操作和维护。传统全金属角阀常面临几个问题:硬对硬密封磨损后需要重新加工阀座,维护成本高;关闭需要扭矩扳手,现场操作不便;密封不可更换,阀门寿命受限于密封磨损;导电率不足,影响抽气效率。更棘手的是,XHV应用要求泄漏率<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s,同时阀门需要在开合状态下烘烤至300°C。如何在DN 16至63mm、≥1000次循环、CF-R可旋转法兰、导电率5-105 l/s条件下,通过FLEX VATRING全金属硬对硬密封、三层密封座可更换两次、免扭矩扳手标准六角扳手操作,实现UHV/XHV便捷隔离,成为全金属角阀选型的核心问题。

54.1全金属角阀配备了FLEX压孔技术,这是一种“硬质”密封技术。这种动态的全金属密封系统以密封一致性和持续的闭合力为特征。它能够实现较高的密封力,同时实现相当的低轴向力。密封夹持由不锈钢制成,仅具弹性变形。FLEX VATRING可以轻松地在侧面更换。它可以在开合状态下烘烤至300°C,在清洁条件下可运行超过1000次循环。

核心性能与设计要点

54.1定位清晰:UHV/XHV全金属角阀、FLEX VATRING可更换密封、免扭矩扳手、高导电率、300°C烘烤。其核心性能与设计信息如下:

  • 尺寸:DN 16(5/8英寸)、DN 40(1.5英寸)、DN 63(2.5英寸)。

  • 执行器:手动,六角头。

  • 阀体材料:不锈钢。

  • 馈通:波纹管。

  • 标准法兰:CF-R(可旋转法兰)。

  • 泄漏率:阀体<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s;阀座<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s。

  • 压力范围:XHV至2 bar(abs)。

  • 板上压差:≤2 bar;开启时压差≤1 bar。

  • 寿命:≥1000次循环。

  • 烘烤温度:开合状态≤300°C。

  • 加热和冷却速率:≤60°C/h。

  • 材质:阀体AISI 316L;机构AISI 316L;波纹管AISI 316L。

  • 密封:阀盖金属(镀银);门金属(镀银)。

  • 安装位置:任意。

  • 阀门位置指示:可视(机械)。

  • 导电率(分子流):DN 16为5 l/s;DN 40为50 l/s;DN 63为105 l/s。

  • 关闭力:机械限位关闭。

  • 重量:DN 16为0.4 kg;DN 40为1.9 kg;DN 63为5.9 kg。

  • 特色:高导电率;FLEX VATRING全金属硬对硬密封;轻松关闭机制,无需扭矩扳手。

  • 优势:极端UHV要求下可靠性能;规定寿命内免维护;低拥有成本。

  • 应用:电子显微镜、质谱与气体分析、高能物理、同步辐射。

  • 产品型号:54.1系列。

FLEX VATRING可更换密封与三层密封座

54.1的核心技术,是FLEX VATRING全金属密封条在密封磨损后易于更换。传统“硬对硬”全金属密封件通常需要重新加工阀座,而54.1阀系列设计使替换的FLEX VATRING密封件位于阀座的新区域,而非原环形密封圈的位置。FLEX VATRING因其三层密封座可更换两次。

这一设计延长了阀门寿命,减少了维护成本。

免扭矩扳手与标准六角扳手操作

54.1无需扭矩扳手,阀门用标准六角扳手操作简便。关闭力通过机械限位控制,操作人员无需**控制扭矩即可实现可靠关闭。

对于现场和维护操作,免扭矩扳手设计减少了工具需求和操作复杂度。

高导电率与300°C烘烤

54.1具有高导电率,DN 16为5 l/s、DN 40为50 l/s、DN 63为105 l/s(分子流)。高导电率提升了抽气效率。

阀门可在开合状态下烘烤至300°C,加热和冷却速率≤60°C/h。泄漏率阀体和阀座均<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s,满足XHV要求。

镀银金属密封与CF-R可旋转法兰

54.1密封为金属(镀银),阀盖和门均镀银。标准法兰为CF-R(可旋转法兰),便于安装对准。安装位置任意,阀门位置指示为可视(机械)。

面向UHV/XHV便捷隔离的选型路径

从FLEX VATRING全金属硬对硬密封、三层密封座可更换两次、免扭矩扳手标准六角扳手操作、高导电率5/50/105 l/s、300°C烘烤温度、DN 16至63mm、CF-R可旋转法兰、XHV至2 bar压力范围、<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s泄漏率、≥1000次循环、AISI 316L阀体和机构、镀银金属密封、波纹管馈通、机械限位关闭、可视位置指示,到适用于电子显微镜、质谱与气体分析、高能物理、同步辐射,VAT 54.1并不是普通全金属角阀的简单替代,而是围绕可更换密封、免扭矩操作和XHV隔离需求的系统性方案。

对于电子显微镜、质谱与气体分析、高能物理、同步辐射等领域的终端用户和OEM而言,54.1用FLEX VATRING可更换密封、免扭矩扳手、高导电率和300°C烘烤,为UHV/XHV便捷隔离提供了清晰答案。

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