VAT 59.0 UHV全金属可变泄漏阀：1×10⁻¹⁰ mbar·l/s微流量计量与40万次控制循环如何满足XHV气体**配气

59.0 UHV全金属可变泄漏阀允许**控制非常小的气体流量（1×10⁻¹⁰ mbar·l/s至500 mbar·l/s）。凭借其全金属设计，它是UHV和极端UHV工艺中气体配气需求的理想选择。

核心性能与设计要点

59.0定位清晰：UHV全金属可变泄漏阀、微流量**计量、全金属硬对硬密封、镀金膜片、可拆卸控制器。其核心性能与设计信息如下：

• 尺寸：DN 16（5/8英寸）。

• 执行器：手动（手轮）；集成或可拆卸压力控制器（带步进电机）。

• 阀体材料：不锈钢。

• 标准法兰：CF-R。

• 密封技术：膜片“硬对硬”密封。

• 泄漏率：阀体<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s；阀座<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s。

• 压力范围：UHV至10 bar（abs）。

• 压差：开启时≤10 bar。

• 死体积：角阀阀座侧2.7 cm³，侧端口1.1 cm³；直通阀阀座侧0.98 cm³，侧端口1.01 cm³。

• **维护前循环：20,000次。

• 烘烤温度：阀体≤300°C；手动执行器≤300°C；步进电机控制器≤50°C。

• 加热和冷却速率：≤60°C/h。

• 材质：阀体AISI 660（1.4943）、AISI 316L（1.4404）；膜片AISI 301（1.4310），镀金。

• 安装位置：任意。

• 阀门位置指示：可视（机械）。

• 导电率（分子流）：0.05 l/s。

• 可调气体流量：1×10⁻¹⁰ mbar·l/s至500 mbar·l/s。

• 重量：带手动执行器0.94 kg；带控制步进电机2.5 kg。

• 特色：*小气体流量的高精度配气；**可重复的气体流量设定；全寿命可靠无泄漏密封；耐腐蚀性和侵蚀性气体。

• 优势：极小气体流量下的优化压力控制；增强工艺可控性；高正常运行时间。

• 设计选项：角阀或直通阀；手动执行器；集成或可拆卸压力控制器（步进电机）；可拆卸控制器时，59.0可在*高300°C下退出（控制器拆下）。

• 寿命：膜片硬对硬密封设计用于全阀寿命40万次控制循环和1万次无泄漏关闭循环，无需维修，膜片可作为备件轻松更换。

• 应用：电子显微镜、薄膜沉积、高能物理、质谱与气体分析。

• 产品型号：59.0系列。

微流量**计量与可重复设定

59.0的核心性能，是可调气体流量1×10⁻¹⁰ mbar·l/s至500 mbar·l/s。特殊控制功能保证可重复的**气体流量设定，增强了工艺控制能力。对于薄膜沉积和质谱分析，微小流量的**配气直接影响工艺重复性和分析准确性。

全金属设计与镀金膜片耐腐蚀

59.0采用全金属设计，阀体为**不锈钢（AISI 660、AISI 316L），膜片为镀金不锈钢（AISI 301）。全金属设计对腐蚀性和侵蚀性气体具有高抵抗力，适合UHV和XHV工艺中的气体配气。

膜片“硬对硬”密封设计用于全阀寿命40万次控制循环和1万次无泄漏关闭循环，无需维修。膜片可作为备件轻松更换。

可拆卸控制器与300°C烘烤

59.0提供手动执行器、集成或可拆卸压力控制器（带步进电机）。可拆卸控制器时，59.0可在*高300°C下退出（控制器拆下）。阀体和手动执行器可烘烤至300°C，步进电机控制器≤50°C。

加热和冷却速率≤60°C/h。泄漏率阀体和阀座均<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s，压力范围UHV至10 bar（abs），开启时压差≤10 bar。

角阀/直通阀与CF-R法兰

59.0提供角阀和直通阀两种版本，标准法兰CF-R。死体积：角阀阀座侧2.7 cm³、侧端口1.1 cm³；直通阀阀座侧0.98 cm³、侧端口1.01 cm³。导电率（分子流）0.05 l/s。

面向XHV**配气的选型路径

从可调气体流量1×10⁻¹⁰ mbar·l/s至500 mbar·l/s、全金属设计、镀金不锈钢膜片硬对硬密封、40万次控制循环/1万次无泄漏关闭循环、UHV至10 bar压力范围、<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s泄漏率、DN 16、CF-R法兰、角阀/直通阀、手动/集成/可拆卸步进电机控制器、300°C烘烤（控制器拆下）、死体积2.7/1.1/0.98/1.01 cm³、导电率0.05 l/s、耐腐蚀和侵蚀性气体，到适用于电子显微镜、薄膜沉积、高能物理、质谱与气体分析，VAT 59.0并不是普通可变泄漏阀的简单替代，而是围绕微流量**计量、耐腐蚀和长寿命密封需求的系统性方案。

对于电子显微镜、薄膜沉积、高能物理、质谱与气体分析等领域的终端用户和OEM而言，59.0用1×10⁻¹⁰ mbar·l/s微流量计量、40万次控制循环、镀金膜片耐腐蚀和可拆卸控制器，为XHV气体**配气提供了清晰答案。