产品名称：数字质量流量控制器

AMF系列（Advanced Mass Flow）是Brooks布鲁克斯推出的超紧凑型数字质量流量控制器和流量计，型号为AMFC（控制器）和AMFM（流量计）。该产品专为空间受限系统中的精准气体流量控制而设计，采用热式（TMF）流量测量原理，结合高性能、多气体能力和先进诊断技术，体积极小，占地面积仅为1英寸×3英寸×3英寸，可轻松安装于紧凑型气体柜中。产品具备**的低流量稳定性，精度为±0.6% S.P.（20-100% F.S.），±0.12% F.S.（<20% F.S.），重复性和再现性为±0.25% S.P.，控制范围高达1000:1，允许单台质量流量控制器在低流量至高流量条件下提供准确、稳定的性能，减少多台设备需求。传感器稳定性优异，长期稳定性*小化漂移，减少频繁重新校准的需求。阀技术先进，漏率<0.005 sccm，确保可靠关断，有助于维持系统纯度、提高良率并减少气体消耗。产品集成先进诊断和可配置报警功能，通过嵌入式Web界面和EtherNet/IP通信实现实时性能监控，便于集成到现代控制系统中。技术规格方面，满量程流量范围（N₂，参考0°C）为0.005-27 slpm，*大压力150 psi，工作温度0-65°C，密封选项为弹性体，*大温度65°C，连接方式包括1/4英寸管压缩接头，防护等级IP40，通信接口为EtherNet/IP，并配备通用USB-C服务端口用于简化安装、启动和故障排除。产品支持多气体配置，预配置增强包简化订购流程，降低BOM复杂性，适用于生物加工和实验室规模生物反应器、薄膜涂层和真空沉积系统、碳捕集利用与封存（CCUS）、氢能技术、分析仪器、大学和研究实验室以及工业气体处理等应用场景。

以上内容基于Brooks AMF系列质量流量控制器公开技术资料整理，如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议，欢迎联系卡洛斯莫（联系电话：18566647778，对接人：杨工）。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销Contrinex康睿得、Staubli史陶比尔、CEMBRE森博尔、MW美国、Imaginant美国、Siemens西门子、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、SCHUNK德国雄克、SICK德国西克、Toho东邦电子、SUTTER美国、Accuride雅固拉、HELUKABEL和柔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的其他产品，也可直接联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购服务，助您高效完成设备配套与项目交付。