产品名称：原装VAT高压真空蝶阀控制阀

61.3 HV蝶式控制阀是VAT高压蝶阀控制阀，用于真空系统中快速且精准的下游压力控制。该阀以板作为节流元件，通过改变阀门开启导电率调节压力，集成压力控制器计算所需板材位置以尽快达到设定压力，适用于CVD和ALD等精细控制工艺。产品特别设计用于气流中颗粒较多的严苛下游过程，即使存在高颗粒载荷和碎片堆积仍可保持全功能运行。该系列已在数千个高要求应用中安装，具有坚固设计和直接安装选项，维护简便。设计选项包括阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及自适应、固定PI下游或软泵等特殊控制算法，可集成客户专用法兰和带保温层的集成加热器。技术数据方面，尺寸覆盖DN25（1英寸）、DN40（1½英寸）、DN50（2英寸）、DN63（2½英寸）、DN80（3英寸）、DN100（4英寸）、DN160（6英寸）、DN200（8英寸）、DN250（10英寸）、DN320（12英寸）。执行器为带步进电机的集成控制器，阀体材质为铝或不锈钢，标准法兰为ISO-KF和ISO-F。泄漏率阀体铝和不锈钢均小于1×10⁻⁹ mbar·L/s。压力范围为1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs）。压力控制循环至**服务为200万次。温度方面，阀体不超过150°C，控制器*高50°C，建议不超过35°C。材料方面，铝阀体牌号为EN AW-6082（3.2315），不锈钢阀体为AISI 316L（1.4404或1.4435），轴为AISI 316L（1.4404或1.4435）。密封中流标准为FKM，其他材料可按需提供。驱动方式为旋转轴直接驱动，安装位置任意，建议泵侧轴。*大压差在盘上从DN25的1000 mbar到DN320的75 mbar。分子流导电率从DN25的22 L/s到DN320的27000 L/s，*小可控电导率从0.15 L/s到6 L/s。典型关闭或打开时间仅位置版本为0.09秒至0.29秒。重量铝阀从2.0 kg到10.4 kg，不锈钢阀从2.5 kg到12.3 kg。控制器接口和传感器可选逻辑（A/D）、Profibus、RS232、RS485、CC-Link、DeviceNet、EtherCAT等，并支持2个传感器。应用领域包括薄膜涂层、太阳能薄膜沉积、晶体生长、照明薄膜沉积、薄膜封装CVD、工艺控制与隔离、电池生产、OLED喷墨打印和照明蚀刻等真空工艺。

以上内容基于VAT 61.3 HV蝶式控制阀公开技术资料整理，如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议，欢迎联系卡洛斯莫（联系电话：18566647778，对接人：杨工）。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销Contrinex康睿得、Staubli史陶比尔、CEMBRE森博尔、MW美国、Imaginant美国、Siemens西门子、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、SCHUNK德国雄克、SICK德国西克、Toho东邦电子、SUTTER美国、Accuride雅固拉、HELUKABEL和柔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的其他产品，也可直接联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购服务，助您高效完成设备配套与项目交付。