产品名称：全新GF080 金属密封质量流量控制器

GF080金属密封质量流量控制器与流量计是Brooks布鲁克斯推出的金属密封MFC和MFM，属于GF80系列。该产品采用与*畅销的GF100系列相同的快速响应传感器和**第四代MultiFlo™技术，是需要高性能且价格合理运营的合适选择。转向金属密封MFC可充分发挥MultiFlo™多气体/多量程能力的优势，因为可用气体没有限制，气体纯度因消除弹性体氧气渗透而提升，且金属密封条寿命延长，维护更为便捷。主要特点包括长期零点稳定性每年变动小于满量程的±0.5%，稳定时间<1秒，全量程流量*高可达55 slpm，全金属密封流路表面粗糙度16µ英寸Ra，耐腐蚀的Hastelloy®传感器可在较低温度下工作，适用于易热分解的气体，可编程MultiFlo™能力使一台设备可覆盖数千种气体类型和量程组合，无需从气路拆除MFC也不影响精度，通过主动温度补偿实现同类*佳温度系数规范，内嵌式自检程序和独立诊断/服务端口，带有VCR配件的细线体设计，支持DeviceNet、Profibus、RS-485及模拟接口。技术参数方面，介质类型为气体，流量测量原理为热式（TMF），流量范围3 sccm至55 slpm，精度范围为±1% S.P.（35-100%）和±0.35% F.S.（<5-35%），调节比<5%-100%，重复性<±0.2% S.P.，*大压力150 psi，工作温度5°C至50°C，测量/控制功能包括控制器（Measure & Control）和流量计（Measure Only），密封选项为金属密封。应用领域包括翻新半导体工艺工具中对**MFC的成本效益高的改造/升级、减少六英寸/八英寸半导体晶圆厂的MFC库存、LED和电力器件制造的MOCVD、太阳能/薄膜化学气相沉积（CVD）系统、分析OEM设备。优势包括快速<1秒的流动沉降时间消除气体浪费和工艺变异性，无弹性体密封件氧渗透问题，MultiFlo™简化过程气体切换无需拆除和校准MFC，新气体和/或量程可在60秒内设定，测量精度不受温度变化影响，诊断端口便于访问以实现*大运行时间，紧凑尺寸便于集成到紧凑机床空间，多协议通信接口简化与现有系统集成。

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