产品名称：现货VAT高压角阀

29.0 HV带软泵功能角阀是VAT推出的高真空角阀，用于真空系统中实现无湍流、无压力脉冲的抽气和放气，公称尺寸为DN25至DN80（1至3英寸）。该产品主要针对特别敏感的生产工艺，软泵功能的核心要**避免阀门开启过程中的湍流，因为湍流可能通过颗粒激活对工艺产生负面影响；此外，阀门开启时高差压导致的快速压力变化可能引起突然冷凝效应，同样可能对工艺参数产生不利影响，29.0的软泵功能可避免这些问题。软泵功能由关闭板上的可调孔口提供，阀盖上的调节轮允许对软泵效果进行精细调节，确保针对所需工艺参数实现*佳校准。为实现简单**的调节和轻松复位，调节轮设有11个位置标记，便于复现某一设置以及将设置复制到其他需以相同设置运行的阀门。该系列还提供内联阀版本（29.1）。29.0系列已在数千个苛刻应用中经过各种工艺条件测试，证明了其出色的软动作性能。软泵功能的一个积极副作用是减少或避免脉冲声音，从而营造更安静的生产/操作环境。该阀门基于坚固可靠的核心设计，气动执行器为单作用，即未施加气动压力时由闭合弹簧关闭阀门。该系列提供DN25至80mm（1至3英寸）的铝制或不锈钢版本。法兰连接标准选项为ISO-KF和ISO-K，也可集成定制法兰。光学位置指示器和电气位置输出信号为标准配置。技术数据方面，尺寸包括DN25（1英寸）、DN40（1½英寸）、DN50（2英寸）、DN63（2½英寸）、DN80（3英寸）。执行器为气动单作用带闭合弹簧（NC），阀体材料为铝或不锈钢，馈通为波纹管，标准法兰为ISO-KF和ISO-K。泄漏率阀体和阀座均小于1×10⁻⁹ mbar·L/s。压力范围DN25至50为1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs），DN63至80为1×10⁻⁸ mbar至4 bar（abs）。板上的差压开启方向≤1.2 bar，关闭方向DN25至50≤1.2 bar、DN63至80≤4.0 bar，开启时差压≤1 bar。温度方面，阀体≤150°C，执行器DN25至50≤120°C、DN63至80≤80°C，电磁阀≤80°C，位置指示器≤80°C。材料方面，主阀体铝制DN25至63为EN AW-6060（3.3206）、EN AW-6061（3.3211）、EN AW-6063（3.3206）、EN AW-6082（3.2315），DN80为EN AC-42000；主阀体不锈钢为AISI 304（1.4301）、AISI 316L（1.4404）；软泵阀体为EN AW-6060（3.3206）、EN AW-6061（3.3211）、EN AW-6063（3.3206）、EN AW-6082（3.2315）；板为AISI 316L（1.4404、1.4435）或AISI 304L（1.4306）；波纹管为AISI 316L（1.4404、1.4435）、AISI 316Ti（1.4571）。密封帽顶和板为FKM。安装位置任意。电磁阀为24 VDC、2.5 W（可按要求更换）。位置指示器触点额定电压5至50 VAC/DC，电流5至100 mA。阀门位置指示为视觉（机械）。该产品适用于太阳能薄膜沉积、电子显微镜、计量、检测与缺陷审查、薄膜涂层、质谱与气体分析等需要高精度真空控制和敏感工艺保护的场合，尤其适合半导体制造、等离子工艺等对颗粒和压力脉冲敏感的应用。

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