产品名称：原装弹性体密封质量流量控制器

5800E弹性体密封质量流量控制器与计量表是Brooks布鲁克斯热式质量流量产品线的主力系列，型号涵盖5850E、5851E、5860E、5861E、5853E、5863E。该产品数十年来广泛用于世界各地的各种应用，采用独有的超稳定流量传感器，能够实现可靠、准确、可重复的测量和控制，满足当今工业制造工艺的苛刻需求。主要特点包括长期零点稳定性每年变动小于满量程的0.2%，能够根据命令变化迅速进行流量响应且过冲/下冲可忽略不计，流量范围宽从3 sccm至1000 slpm，耐高压等级高达1500 psi，可拆卸式流量传感器，不受安装角度影响，能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容，具备电驱动阀超调和耐化学腐蚀阀门。技术参数方面，介质类型为气体，流量测量原理为热式（TMF），流量范围0.003至1000 slpm，精度范围为±1%满量程、>20 slpm时±1.5%满量程，调节比50:1，重复性0.25%读数，*大压力1500 psi（103 bar），工作温度5°C至65°C，测量/控制功能包括控制器（Measure & Control）和流量计（Measure Only），密封选项为弹性体（Elastomer），连接方式为模拟0-5 V。根据数据表补充信息，响应时间（0-100%指令阶跃后稳定在满量程±2%以内）E系列<3秒，零点稳定性<±0.2%满量程，温度系数零点<0.075%满量程/°C、量程在10-50°C范围内相对原始校准漂移<1.0%满量程，压力系数±0.03%/psi（0-200 psi N2），姿态敏感度重新归零后相对指定精度的*大偏差<0.5%满量程。电气连接为15针D型公头或卡边缘连接器（仅控制器型号），输入（设定点）信号0至5 Vdc，输出信号0至5 Vdc（负载2000欧姆或更大），参考输出信号5 Vdc±0.01 Vdc，电源要求因阀门类型和流量范围而异。该系列适用于化学和石化催化剂研究与中试工艺、实验室与分析系统、生命科学生物反应器、太阳能等应用领域。优势包括在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性，由于性能可靠因而投资回报率出众，采用可拆卸式流量传感器无需对气压进行连续监测和重新调节，由于模拟量仅为输入/输出因此易于安装和保养。

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