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  • 产品名称:PARKER派克专用减压阀 - 薄膜沉积

  • 产品型号:QR4004SK1V1V3TS4FMM
  • 产品厂商:PARKER派克美国
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简单介绍:
QR4000和NPR4000系列是Parker派克汉尼汾(Veriflo部门)推出的超高纯(UHP)单级非束缚膜片式减压阀,应用于气体柜、阀组箱(VMB)、大宗气体分配及半导体制造等需要精密压力控制和增强泄漏完整性的场合。出口范围覆盖-26 in Hg至60 psig,*大入口250 psig。工作温度*低-40°C,*高视阀座材质可达260°C(Vespel),适用于半导体Fab及气体公司等对洁
详情介绍:

QR4000和NPR4000系列是Parker派克汉尼汾旗下Veriflo部门推出的非束缚膜片式减压阀,属于UHP超高纯调节阀产品线。该系列提供工艺气体的**压力控制,为下游系统提供稳定的流量和压力供应,是阀组箱、气体柜及众多半导体制造应用的理想选择,主要面向半导体Fab和气体公司等市场。

技术规格方面,阀体材料为316L不锈钢(VeriClean定制低硫高纯316L,增强电解抛光、焊接和耐腐蚀性),受压构件为Inconel 625,隔膜为Hastelloy C-22,销材料为Hastelloy C-22(仅NPR4000),提升阀为Hastelloy C-276,弹簧为Inconel X750,过滤器网为Hastelloy C-22,阀座固定器为316L不锈钢,备用垫圈为316不锈钢,盖帽为铜镀镍,螺母为316L不锈钢,旋钮为铝或ABS(QR4000黑色,NPR4000白色)。阀座材料可选PCTFE(标准)、PEEK或Vespel。

性能参数方面,流量系数Cv提供0.06(标准)、0.02、0.15三种选项。内部泄漏率<4×10⁻⁸ scc/sec He,外部泄漏率<2×10⁻¹⁰ scc/sec He。供压压力效应因Cv值而异:0.02 Cv为0.23 psig/100 psig,0.06 Cv为0.6 psig/100 psig,0.15 Cv为1.5 psig/100 psig。内部容积4.0 cm³(无接头),重量1.5磅(0.7 kg)。尺寸方面,端到端长度1/4英寸面密封和管接头为3.70±0.02英寸(94±0.5mm),1/2英寸面密封为4.82±0.02英寸(122.4±0.5mm),面板安装需Ø1.44英寸(36.6mm)孔。

压力范围方面,QR4000的*大入口压力额定值因型号而异:QR4000基础型为400 psig(Cv 0.02-0.15);QR4001/4002/4004/4005在Cv 0.15时为1250 psig,在Cv 0.02-0.06时可达4000 psig(**PCTFE阀座,PEEK和Vespel阀座*大1250 psig);QR4003/4015在Cv 0.02-0.15时均为4000 psig。NPR4000的*大入口压力为250 psig(所有Cv范围)。出口压力方面,QR4000提供1-10 psig、1-30 psig、1-60 psig、2-100 psig、3-250 psig、5-150 psig、20-500 psig多个档位;NPR4000专为负压应用设计,出口范围为-26 in Hg至10/30/60 psig。

温度范围方面,*低工作温度-40°C(-40°F);*高工作温度取决于阀座材料:PCTFE为66°C(150°F),PEEK为135°C(275°F),Vespel为260°C(500°F)。温度高于150°F时需选用金属旋钮(M选项)。

设计特点方面,该系列采用独特的压缩部件将密封装载至阀体,无需螺纹喷嘴或额外的大气密封;内部无螺纹喷嘴组件减少颗粒产生,低内部容积缩短吹扫时间;膜片与阀体金属对金属密封确保高泄漏完整性;正向上、向下止动防止膜片过度行程以延长循环寿命;标准全内部电解抛光;针对氧气服务进行清洁。阀座材料选择可适配不同介质兼容性和温度应用,Vespel阀座推荐用于一氧化二氮(N₂O)服务。NPR4000适用于涉及负输送压力和低压气源的场合,典型应用包括从液态源(如WF6、BCl3)输送低压气体。

订购信息方面,型号编码示例如QR40 03 S K 4P 01 40 FS MMMM M,其中QR40/NPR40为基本系列,03为压力范围(QR4000的00至05及15,NPR4000的00至02),S为316L不锈钢阀体,K/P/V为阀座材质(PCTFE/PEEK/Vespel),2P/3P/4P/4PB/5P为端口配置,01为出口压力表范围,40为入口压力表范围,FS/FS8/TS/TS6/TS8为端口样式,M/F/I为端口配置(公/母/内面密封),M为可选功能(HP为4000 psig*大入口压力,仅用于0.15 Cv的QR4003和QR4015配PCTFE阀座;M为金属旋钮,温度高于150°F时必需)。面板安装需单独订购面板螺母环P/N 41900363。

以上内容基于Parker派克QR4000和NPR4000系列单级减压阀公开技术资料整理,如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议,欢迎联系卡洛斯莫(联系电话:18566647778,对接人:杨工)。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销Contrinex康睿得、Staubli史陶比尔、CEMBRE森博尔、MW美国、Imaginant美国、Siemens西门子、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、SCHUNK德国雄克、SICK德国西克、Toho东邦电子、SUTTER美国、Accuride雅固拉、HELUKABEL和柔等国际品牌产品,如需购买上述品牌的其他产品,也可直接联系卡洛斯莫,我们将为您提供一站式选型与采购服务,助您高效完成设备配套与项目交付。


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