卡洛斯莫史陶比尔（Stäubli）洁净室工业机器人系列现已到货

史陶比尔洁净室工业机器人系列主要应用于半导体行业，满足该行业对机器人的严苛需求，专为高敏感应用提供超高性能洁净室机械臂，用于晶圆、光掩模、载具及晶圆盒的搬运。同时适用于制药与卫生保健行业，凭借高洁净度和高精度满足医疗保健和生命科学行业的严苛要求。典型应用案例包括紧急医疗生产中的呼吸机过滤器制造、显微外科手术中的机器人辅助摄像系统（RoboticScope）、以及奥地利PTW SpinTec公司用于单片晶圆湿式蚀刻和清洗系统的超洁机器人。该系列产品有助于节省专用设备内的宝贵空间，适用于对洁净度有严格要求的自动化生产环境。

详细介绍

史陶比尔洁净室机器人符合ISO 14644-1标准中的2级（超净室版本）和4级（洁净室版本）洁净度要求，采用全封闭设计，表面为光滑的聚氨酯材质，具有极高的灵活性。与其他晶圆搬运机器人相比，史陶比尔超净室和洁净室机器人在灵活性、负载能力和工作范围方面表现出色，能够很好地应对晶圆、光掩模、载具及晶圆盒搬运方面的挑战。此外，其结构紧凑，占用空间小，有助于节省专用设备内的宝贵空间。

产品特点包括：易于清洁，表面平滑；带密封功能的六角平头螺丝（TX2-60/90 CR型号不配备此螺丝）；专为高洁净度打造，采用特定喷涂和组装工艺；低颗粒排放（符合ISO 2级/4级洁净标准），配备特殊的洁净室唇形密封件。

技术参数方面，六轴机器人提供以下型号：TX2-60/60L，自由度6，负载能力4.5/3.7kg，手腕处工作半径670/920mm，重复定位精度±0.02mm，洁净室标准2级（SCR版本）或4级（CR版本），防护等级IP65，安装方式360°皆可安装，机器人控制器CS9 LP。TX2-90/90L/90XL，自由度6，负载能力14/12/7kg，手腕处工作半径1000/1200/1450mm，重复定位精度±0.02mm，洁净室标准2级（SCR版本）或4级（CR版本），防护等级IP65，安装方式360°皆可安装，机器人控制器CS9 MP。TX2-140，自由度6，负载能力40kg，手腕处工作半径1510mm，重复定位精度±0.015mm，洁净室标准4级（CR版本），防护等级IP65，安装方式置地式或置顶式，机器人控制器CS9 MP。TX2-160/160L，自由度6，负载能力40/25kg，手腕处工作半径1710/2010mm，重复定位精度±0.02/±0.03mm，洁净室标准4级（CR版本），防护等级IP65，安装方式置地式或置顶式，机器人控制器CS9 MP。如需更高洁净等级，可进一步联系。

该系列机器人在实际应用中表现**。2020年春，法国面临新冠疫情爆发，MGA Technologies、Infiplast SAS以及史陶比尔联合生产急需的呼吸机过滤器，洁净室机器人在紧急医疗生产中发挥关键作用。在显微外科领域，一家初创公司发明了独特的机器人辅助摄像系统RoboticScope，通过头戴式显示器让外科医生对手术领域有了全新认识。奥地利公司PTW SpinTec以其高质量的单片晶圆湿式蚀刻和清洗系统闻名全球，在这些**系统中，Stäubli TX2-60六轴SCR超净室机器人负责晶圆处理。

型号汇总

六轴洁净室机器人： TX2-60、TX2-60L、TX2-90、TX2-90L、TX2-90XL、TX2-140、TX2-160、TX2-160L

可选版本：超净室版本（SCR，符合ISO 2级）、洁净室版本（CR，符合ISO 4级）

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

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