瑞士VAT 61.3高压蝶阀控制阀现已到货

VAT 61.3高压蝶阀控制阀适用于需要快速、精准下游压力控制的真空工艺场景。典型应用包括CVD和ALD工艺中的精细压力控制，薄膜沉积（CVD、PVD、MOCVD、PECVD）过程中的真空压力调节，太阳能薄膜沉积，晶体生长，照明薄膜沉积，薄膜封装（CVD），工艺控制与隔离，电池生产中的真空工艺，OLED喷墨打印，以及照明蚀刻等。其快速动作控制器（0.1秒）能够迅速响应设定压力变化，提高工艺控制精度；特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程，在高颗粒载荷和碎片堆积条件下仍保持全功能运行，适合CVD、ALD等易产生副产物的工艺；集成压力控制器和车载软件实现本地快速控制；坚固的设计和直接安装选项便于集成到现有真空系统；多种设计选项（材料、表面处理、弹性体、法兰、特殊控制算法）简化了在不同真空应用中的适配；已在数千个高要求应用中验证可靠性，适合半导体、显示、光伏等对工艺稳定性要求极高的行业。

详细介绍

VAT 61.3高压蝶阀控制阀提供**的压力控制性能。凭借其快速且**的动作控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制的**解决方案。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。61.3的集成压力控制器计算出所需的板材位置，以尽快达到设定压力。它特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程。尽管设计上存在高颗粒载荷和碎片堆积，61.3号机仍保持全功能运行。61.3系列已在数千个高要求应用中安装，且在各种工艺条件下取得了**的可靠性。凭借坚固的设计和直接安装选项，以及更简便且易于维护，61.3系列在各方面都令人信服。车体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软泵）等多种设计选项简化了在各种真空应用中的集成。61.3 HV蝶式控制阀有铝制或不锈钢材质，标准法兰接头为ISO-KF和ISO-F，可以集成客户专用的法兰，以及带有保温层的集成加热器等特殊功能。各种FFKM/FKM弹性体可按需提供（FKM为标准）。

61.3 HV蝶阀的主要特点包括压力控制**、非常快速的操作、本地运行的车载软件、在恶劣工艺条件下可靠运行。优势包括更好的工艺控制、高运行时间/不受限制的性能、低运营成本。技术数据方面，尺寸覆盖DN 25（1英寸）至DN 320（12英寸）；执行器为集成控制器带步进电机；阀体材料为铝或不锈钢；标准法兰为ISO-KF、ISO-F；阀体泄漏率铝和不锈钢均＜1×10⁻⁹ mbar·l/s；压力范围1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs）；**维护前循环次数（压力控制）为200万次；温度方面阀体≤150°C，控制器*高50°C（推荐≤35°C）；材料方面阀体和阀板为铝EN AW-6082（3.2315）或不锈钢AISI 316L（1.4404或1.4435），轴为AISI 316L，密封馈通为FKM（其他可按需提供），馈通为旋转轴直接驱动；安装位置任意（推荐轴在泵侧）；*大压差阀板上为1000 mbar（DN 25）至75 mbar（DN 320）；分子流导电率22 l/s（DN 25）至27000 l/s（DN 320）；*小可控导电率（分子流）0.15 l/s（DN 25）至6 l/s（DN 320）；典型关闭或开启时间（“仅位置”版本）铝/不锈钢为0.09秒（DN 25）至0.29秒（DN 320）；重量铝阀2.0 kg（DN 25）至10.4 kg（DN 320），不锈钢阀2.5 kg（DN 25）至12.3 kg（DN 320）。产品提供多种控制器接口和传感器配置选项，包括Logic（A/D）/2传感器、Profibus/2传感器、RS232/2传感器、RS485/2传感器、CC-Link/2传感器、DeviceNet/2传感器、EtherCAT/2传感器等，并可选配SPS和PFO控制器配置。VAT是全球高真空解决方案开发的***，其产品对半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。61.3系列广泛应用于薄膜涂层、太阳能薄膜沉积、晶体生长、照明薄膜沉积、薄膜封装（CVD）、工艺控制与隔离、电池生产、CVD、OLED喷墨打印、照明蚀刻等应用领域。

型号汇总

VAT 61.3高压蝶阀控制阀系列，尺寸覆盖DN 25（1英寸）、DN 40（1½英寸）、DN 50（2英寸）、DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）。材质可选铝或不锈钢，法兰可选ISO-KF或ISO-F，控制器接口可选Logic（A/D）、Profibus、RS232、RS485、CC-Link、DeviceNet、EtherCAT等（均配2传感器）。示例型号：61328-KAAE、61328-KAAF、61328-KAAH、61328-KAAK、61328-KAAN、61328-KAAQ、61328-KAAX、61328-KACE等。

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司成立于2016年，位于深圳市龙华区。公司经营机电设备、工业自动化设备、仪器仪表、通信设备等产品的销售与进出口业务，产品广泛应用于汽车制造、轨道交通、半导体、航空航天、能源、医疗、通信等行业。公司现为VAT等国际品牌产品的供应渠道之一，可为用户提供61.3高压蝶阀控制阀及相关产品的选型与采购支持。

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