卡洛斯莫VAT 62.0高压角阀控制阀现已到货

VAT 62.0高压角阀控制阀适用于需要高温高压环境下可靠压力控制和隔离的真空工艺场景。典型应用包括ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）等高温高压真空工艺，工艺控制与隔离，晶体生长，薄膜涂层（CVD、PVD、MOCVD、PECVD）等。其电动线性驱动执行器实现平滑精细的开启和关闭控制，极低的*小导电率适合精细压力调节；集成软泵控制功能避免压力峰值，减少颗粒激活，提高工艺稳定性；*高200°C的运行温度满足高温工艺需求；控制性能分析器应用程序可分析阀门在不同工艺条件下的长期性能，便于预测性维护和工艺优化；断电时锁定关闭功能确保阀门密封**；已在数百个严苛应用中验证可靠性，适合半导体、显示、光伏等对工艺控制精度和可靠性要求极高的行业；多种控制器接口（RS232、RS485、Logic、DeviceNet、Profibus、EtherCAT）便于系统集成。

详细介绍

VAT 62.0高压角阀控制阀是高温高压工艺的解决方案，压力范围1×10⁻⁸ mbar至1.4 bar（abs）。62.0角阀控制阀系列是真空工艺中高压和/或高温环境（如ALD或CVD）的理想选择。凭借*高200°C的运行温度，62.0提供 exceptionally **的压力控制性能。由于其电动线性驱动执行器，开启和关闭循环可实现非常平滑和精细的控制，具有极低的*小导电率。集成的软泵控制功能通过避免大多数传统气动执行器相关的压力峰值来增强这一性能。车载控制器（DN 80和DN 100为外部控制器）提供服务端口连接和多种接口以连接PCU。阀门控制器的关键特性还包括控制性能分析器应用程序，可通过该程序分析阀门在各种工艺条件下随时间的性能。在断电情况下，62.0还提供锁定在“关闭”位置的功能，确保阀门的密封性。62.0角阀控制阀已在数百个各种工艺条件下的严苛应用中安装，证明了其**的可靠性和性能，在可控性和阀门性能监测方面为角阀控制阀设定了基准。

62.0角阀控制阀的尺寸范围为DN 16–100 mm（5/8英寸–4英寸）。阀体材料为不锈钢，可选镍涂层。尺寸DN 16–50 mm（5/8英寸–2英寸）也可提供铝制阀体。阀盖和阀板采用FKM或FFKM密封，馈通为波纹管密封。加热套为可选配置，DN 80和DN 100还可选配特殊波纹管加热。控制器接口包括RS232、RS485、Logic（模拟/数字）、DeviceNet、Profibus和EtherCAT。主要特点包括高温运行、无压力峰值的精细压力控制、电动线性驱动执行器、集成软启动以减少颗粒激活、控制性能分析器应用程序。优势包括**的压力可控性、严苛条件下的可靠性能、易于系统集成、易于维护、低拥有成本。

技术数据方面，DN 40（1½英寸）和DN 50（2英寸）型号的执行器为线性驱动带闭环控制步进电机，阀体材料为铝或不锈钢，馈通为波纹管，标准法兰为ISO-KF，阀体泄漏率＜1×10⁻⁹ mbar·l/s，压力范围＜1×10⁻⁸ mbar至1.4 bar（abs），开启时阀板压差≤1 bar，**维护前循环次数（节流/隔离）为200万次/100万次，标准温度（阀/波纹管）≤80°C，高温选项≤200°C，控制器/执行器环境温度*高50°C（推荐≤35°C），阀体和阀板材料为铝EN AW-6082（3.2315）或不锈钢AISI 316L（1.4404或1.4435），波纹管为AISI 316Ti（1.4571），阀盖和阀板密封为FKM，安装位置任意。DN 100（4英寸）型号的执行器为线性驱动带闭环控制步进电机，阀体材料为不锈钢，馈通为波纹管，标准法兰为ISO-K，阀体泄漏率＜1×10⁻⁹ mbar·l/s，压力范围＜1×10⁻⁸ mbar至1.1 bar（abs），开启时阀板压差≤1 bar，**维护前循环次数（节流/隔离）为100万次/20万次，标准温度（阀/波纹管）≤80°C，高温选项≤200°C，控制器/执行器环境温度≤50°C（推荐≤35°C），阀体和阀板材料为不锈钢316L（1.4404或1.4435），波纹管为AISI 316Ti（1.4571），阀盖和阀板密封为FKM，安装位置任意。产品提供多种控制器配置和接口选项，如Basic Version/Cluster Slave配RS232或EtherCAT接口，PFO配RS232或EtherCAT接口等。VAT是全球高真空解决方案开发的***，其产品对半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。62.0系列广泛应用于工艺控制与隔离、晶体生长、薄膜涂层等应用领域。

型号汇总

VAT 62.0高压角阀控制阀系列，尺寸覆盖DN 16 mm（5/8英寸）至DN 100 mm（4英寸）。材质可选铝（DN 16–50）或不锈钢，法兰可选ISO-KF或ISO-K，控制器接口可选RS232、RS485、Logic（模拟/数字）、DeviceNet、Profibus、EtherCAT。示例型号：62032-KAGH、62034-KAGX、62034-KEGH、62034-KEGX、62034-KEHH、62034-KEHX、62040-QE52-ACS1等。

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司成立于2016年，位于深圳市龙华区。公司经营机电设备、工业自动化设备、仪器仪表、通信设备等产品的销售与进出口业务，产品广泛应用于汽车制造、轨道交通、半导体、航空航天、能源、医疗、通信等行业。公司现为VAT等国际品牌产品的供应渠道之一，可为用户提供62.0高压角阀控制阀及相关产品的选型与采购支持。

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