瑞士VAT 64.2高压控制门阀现已到货

VAT 64.2高压控制门阀适用于需要高循环真空控制和隔离的半导体及真空工艺场景。典型应用包括溅射、蚀刻等半导体生产中的高周期真空工艺，工艺控制与隔离等。其VATLOCK技术确保密封可靠且阀板无摩擦，减少磨损并延长维护周期；机载压力控制器和步进电机配合编码器实现快速准确的工艺压力控制；关闭位置的VATLOCK锁定机构保证密封泄漏隔离和断电**闭合，提高**性；坚固的不锈钢阀体和紧凑设计适合高强度和长时间运行；提供多种设计变体（密封材料、法兰连接、粗加工旁通、通风或压力计连接、特殊控制算法如自适应、固定PI下游/软泵），便于集成到不同真空系统；执行器和控制器可安装在阀体不同位置，或控制器与阀门执行器分离安装，适应有限安装空间；已在数千个高强度应用中验证可靠性，适合半导体、显示、光伏等对设备运转时间和拥有成本要求较高的行业。

详细介绍

VAT 64.2高压控制闸阀设计用于高周期真空工艺（如溅射或蚀刻半导体生产）中的可靠、**控制和隔离。它满足耐用性、模块化和可维修性的标准要求，特别注重高运转时间和低拥有成本。64.2配备了VATLOCK技术，确保密封可靠且板块无摩擦。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。机载压力控制器计算实现设定压力所需的板位置。步进电机执行，编码器监控板位置。这确保了快速且准确的工艺压力控制。关闭位置的特殊VATLOCK锁定机构保证了密封泄漏隔离和断电**闭合。64.2发动机已安装在数千个高强度应用中，且在各种工艺条件下展现出**的可靠性。凭借其坚固的设计，它满足了高周期真空控制闸阀的所有要求。

为确保在多种真空应用中的*佳集成，64.2 HV控制阀提供多种设计变体，包括密封材料、法兰连接、粗加工（旁通）、通风或压力计连接，以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软泵）。如果64.2需要安装在有限的安装空间内，执行器和控制器可以安装在阀体的不同位置。此外，控制器可以与阀门执行器分离安装。该系列有DN 100至400毫米（4英寸至16英寸）的尺寸可选。主要特点包括可靠且经过验证的设计、VATLOCK技术、坚固的不锈钢车身、高周期设计。优势包括可靠且**的控制与隔离性能、延长免维护周期、低拥有成本。

技术数据方面，尺寸覆盖DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 350（14英寸）、DN 400（16英寸）。执行器为集成压力控制器带步进电机。阀体材料为不锈钢。馈通为旋转馈通。标准法兰包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS。阀体和阀座泄漏率＜1×10⁻⁹ mbar·l/s。压力范围方面，DN 100–200为1×10⁻⁸ mbar至2 bar（abs），DN 250–400为1×10⁻⁸ mbar至1.2 bar（abs）。关闭时阀板压差DN 100–200为≤2 bar，DN 250–400为≤1.2 bar。开启时压差≤30 mbar。**维护前循环次数（压力控制/关闭/开启）为100万次/20万次。温度方面，阀体≤150°C，控制器*高50°C（推荐≤35°C）。材料方面，阀体和阀板为AISI 304（1.4301），机构为AISI 301（1.4310）、AISI 304（1.4301）、AISI 420（1.4034）、AISI 420D（1.4037）、AISI 430（1.4016）。密封（阀盖、阀板、馈通）为FKM。安装位置DN 100–350任意，DN 400为水平。阀门位置指示为可视（机械和控制器上）。产品提供多种控制器配置和接口选项，如PFO配RS232、SPS配RS232、SPS和PFO配Logic、PFO配RS485、SPS配RS232（CF-C法兰）、Basic Version/Cluster Slave配RS232、PFO配RS232、SPS和PFO配DeviceNet等。VAT是全球高真空解决方案开发的***，其产品对半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。64.2系列广泛应用于工艺控制与隔离等应用领域。

型号汇总

VAT 64.2高压控制门阀系列，尺寸覆盖DN 100（4英寸）至DN 400（16英寸）。材质为不锈钢，法兰可选ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS，控制器接口可选RS232、RS485、Logic、DeviceNet等。示例型号：64240-CEHG、64240-PEAG、64240-PECC、64240-PEHJ、64240-UEAG、64244-CEGG、64244-CEHG、64244-JECP等。

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司成立于2016年，位于深圳市龙华区。公司经营机电设备、工业自动化设备、仪器仪表、通信设备等产品的销售与进出口业务，产品广泛应用于汽车制造、轨道交通、半导体、航空航天、能源、医疗、通信等行业。公司现为VAT等国际品牌产品的供应渠道之一，可为用户提供64.2高压控制门阀及相关产品的选型与采购支持。

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