产品名称：划片机监控方案

一、产品概述

VBI（破刀侦测）是马波斯为晶圆划片工序开发的**监控方案，通过高频全数字化技术实现对切割刀的实时监控，确保划片质量的高可靠性与低废品率。方案搭载线阵传感器，在划片过程中实时测量切割刀的磨损与刀形，并监测切割刀位置（NCS）以消除位置误差导致的芯片缺陷。数据分析实时检测切割刀破损（BBD），磨损程度可报告操作员或激活自动换刀系统。控制器支持同时连接两个功能相同或不同的传感器。用户界面采用WebServer数字化通信技术，无需复杂操作即可完成设置与配置。

二、技术规格

三、核心优势

• 实时切割刀磨损与刀形测量：VBI在划片过程中持续测量切割刀的实际磨损量与刀形变化，与传统的定时更换或目视检查不同，系统在磨损达到设定阈值时即时发出预警或触发自动换刀，避免了因过早换刀导致的刀具浪费或因过晚换刀导致的划片质量下降。

• 切割刀位置监测（NCS）消除位置误差：系统在划片前或过程中检查切割刀相对晶圆的准确位置，确认刀片与划切轨迹的对准精度，在位置偏差超出允许范围时即时报警，避免了因刀片位置偏移导致的晶圆划片路径偏差与芯片尺寸缺陷。

• 切割刀破损即时检测（BBD）：系统实时分析传感器采集的信号，在切割刀发生突发性破损时即时识别，使划片机能够在当前划切完成后停机或自动跳过受影响区域，避免破损刀片在后续划切中划伤晶圆表面或导致整片晶圆报废。

• 双传感器控制器支持多功能配置：控制器支持同时连接两个传感器，两个传感器可执行相同功能（例如两个位置传感器实现更宽的监测范围）或不同功能（例如一个监测刀形磨损、一个监测刀片位置），在单一控制器上实现对划片过程的多维度监控。

• WebServer数字化配置无需专用软件：用户界面采用WebServer技术，用户通过标准网络浏览器即可访问设备进行参数设置、状态查看与数据导出，无需安装专用软件或驱动程序，简化了系统配置、维护与跨平台访问的过程。