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  • 产品名称:SET法国进口FC300倒装芯片键合机

  • 产品型号:FC300型
  • 产品厂商:法国SET
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简单介绍:
FC300 倒装芯片键合机是至新一代的高精度和高力系统,适用于芯片到芯片 – 高达 100 毫米 – 和芯片到晶圆 – 高达 300 毫米 – 应用,键合后精度为 ± 0.3 µm. FC300 的键合力范围很广,从 1 到 4000 N。这使其非常适合回流焊和热压工艺。 两个组件之间的水平在 1 μradian 以内的每个键合之前进行调整。 平行度调整、高分辨率对准和所有键合参数的完 美控制可实现亚微米级键合后精度。
详情介绍:

SET法国进口FC300倒装芯片键合机

主要优点

  • 键合后精度为 ± 0.3 µm
  • 低/高结合力
  • 完 美的平行度控制
  • 封闭气体,包括甲酸
  • 独特的视觉系统
  • 从研发到中试线

工艺能力

  • 倒装芯片/芯片键合
  • 热压
  • 回流焊
  • 粘接 紫外线固化粘合
  • 热声波

应用

  • 焦平面阵列 & 红外、紫外、X光传感器
  • µLEDs显示器
  • 量子计算
  • 3D互连,内存堆叠
  • 光电
  • 硅光子学
  • 芯片到芯片
  • 芯片到晶圆
  • 纳米压印光刻(NIL)

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